特許

J-GLOBAL ID：200903075923223938

蒸着用ボートおよびこれを備えた真空蒸着装置

発明者： 横井 伸 ,  石丸 泰 ,  中塚 篤 ,  多田 勲
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-231575
公開番号（公開出願番号）：特開2007-046106
出願日： 2005年08月10日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】 ボートの温度管理および製作を複雑化することなく、溶解した蒸発材料の濡れ広がりによる電極取付部への付着を防止して、ピンホール等の発生を抑えることができる蒸着用ボートを提供する。【解決手段】 本発明の蒸着用ボート11は、抵抗加熱体からなるボート本体12と、このボート本体12の両端部に各々設けられた電極取付部13と、ボート本体12の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受けるキャビティ(材料受け部)14とを備え、ボート本体12の表面であって、キャビティ14と電極取付部13との間の領域に、キャビティ14から電極取付部13へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部15を形成することにより、キャビティ14から電極取付部13へ向かう蒸発材料の流動を堰き止めて、蒸発材料が電極取付部13へ到達することを規制する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

抵抗加熱体からなるボート本体と、このボート本体の両端部に各々設けられた電極取付部と、前記ボート本体の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受ける材料受け部とを備えた蒸着用ボートにおいて、 前記ボート本体の表面であって、前記材料受け部と前記電極取付部との間の領域には、前記材料受け部から前記電極取付部へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部が形成されていることを特徴とする蒸着用ボート。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 A

Fターム (11件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4K029DB12 ,  4K029DB13 ,  4K029DB15 ,  4K029DB18 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭52-102681号公報
  
• 金属蒸発容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-345441   出願人：電気化学工業株式会社
• 蒸着ボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-288151   出願人：日立化成工業株式会社

審査官引用 (1件)

• 真空蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-275088   出願人：株式会社アルバック