特許
J-GLOBAL ID：200903075923547890
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-201403
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036208
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】 基板搬送機構から検査用載置台へのLCD基板の引き渡し位置に多少のズレがあっても常に検査用載置台の所定固定位置へLCD基板を正確に引き渡すことができる検査装置を提供する。【構成】 本検査装置1は、その検査用載置台25は、昇降して基板搬送機構6のローダアーム7Aとの間でLCD基板Sの受け渡しを行なう受け渡し機構253と、この受け渡し機構253で受け取ったLCD基板Sを固定する固定機構254とを有し、且つ、受け渡し機構254は、LCD基板Sを対向する2辺で支持する支持部253H、253Hと、LCD基板Sの4箇所で接触してLCD基板Sを支持部253H、253Hへ落とし込むガイド部253G、253Iを有すると共に、固定機構254は、受け渡し機構253の支持部253H及びガイド部253G、253Iが嵌入する嵌入溝254E、254Fを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板搬送機構により液晶表示体基板を検査用載置台上に載置し、この液晶表示体基板を裏面から照明してその点灯検査を行う検査装置において、上記検査用載置台は、昇降して上記基板搬送機構との間で上記液晶表示体基板の受け渡しを行なう受け渡し機構と、この受け渡し機構で受け取った液晶表示体基板を固定する固定機構とを有し、且つ、上記受け渡し機構は、上記液晶表示体基板を対向する2辺で支持する支持部と、上記液晶表示体基板と少なくとも斜め方向で互いに対向する隅角部で接触して上記液晶表示体基板を上記支持部へ落とし込むガイド部を有することを特徴とする検査装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, G01M 11/00
, G01R 31/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/66
H01L 21/68 N
, G01M 11/00 T
, G01R 31/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/66 X
