特許
J-GLOBAL ID:200903075926252734

電界放出素子

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-153451
公開番号(公開出願番号):特開平7-014499
出願日: 1993年06月24日
公開日(公表日): 1995年01月17日
要約:
【要約】【目的】電界放出素子としての優れた性能を発揮でき、しかも電界放出素子に生じ易い重大不良であるショートを防ぎ、特にはFEAに応用するような場合であっても、顕著な画像表示不良やFEAの制御系装置各部が破損するような心配も無く信頼性が高い電界放出素子を提供する。【構成】導電性基板上に突起状カソードと、突起状カソードの少なくとも一部を囲むような絶縁層と、絶縁層の上に該突起状カソードの先端部分に臨むようにゲート電極とを設けた電界放出素子で、突起状カソード下部の少なくとも一部が第2の絶縁層に覆われている構造であることを特徴とする。
請求項(抜粋):
導電性基板上に突起状カソードを設け、該突起状カソードの少なくとも一部を囲むように絶縁層を設け、該絶縁層の上に該突起状カソードの先端部分に臨むようにゲート電極を設けた構成を少なくとも具備する電界放出素子において、突起状カソード下部の少なくとも一部が第2絶縁層により覆われていること特徴とする電界放出素子。

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