特許

J-GLOBAL ID：200903075929222950

金属複合部品およびその製造方法ならびに半導体装置

発明者： 有川 正
出願人/特許権者： 東京タングステン株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-296233
公開番号（公開出願番号）：特開平6-316707
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】 放熱効果に優れていると共に、クラックや圧痕が生じることなく所望の表面形状に加工できる工業的量産性に優れた金属複合部品を提供する。【構成】 高融点金属としてMoと、Moより低融点の金属としてCuとを含むCu-Mo系複合材料を焼結することによって得られた焼結体と、この焼結体の表面を覆うCu-Mo系複合材料中の金属の一種であるCuから成る被覆層とを有している。金属複合部品は、理論値に近い熱膨張係数を示す。

請求項（抜粋）：

高融点金属および該高融点金属より低融点の金属を含む複合材料を焼結することによって得られた焼結体と、該焼結体の表面を覆う前記複合材料中の金属の一種から成る被覆層とを有することを特徴とする金属複合部品。

IPC (4件)：

B22F 3/24 102 ,  H01L 23/06 ,  H01L 23/12 ,  H01L 23/373

FI (2件)：

H01L 23/12 J ,  H01L 23/36 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-124243
  
• 特開昭58-145302
  
• 特開平4-049642
  
• 特開昭48-027929