特許

J-GLOBAL ID：200903075938334175

レジスト用バインダーの製造方法

発明者： 佐藤 充 ,  大森 克実 ,  小林 政一 ,  田中 初幸 ,  中山 寿昌
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212438
公開番号（公開出願番号）：特開平6-032817
出願日： 1992年07月17日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【構成】 水素化率1〜40モル%、Mw3000〜15000の水素化ポリヒドロキシスチレンを極性溶媒に溶解し、次いでこれに脂肪族炭化水素系溶媒を加え振とうしたのち、静置して2層に分離し、該極性溶媒層中の水素化ポリヒドロキシスチレンを回収するか、又は前記水素化ポリヒドロキシスチレンを低級脂肪族アルコールに溶解したのち、静置して不溶分を析出させ、次いで該不溶分を取り除いたのち、水素化ポリヒドロキシスチレンを回収することにより、レジスト用バインダーを製造する。【効果】 i線、deep-UV、エキシマレーザーなどの短波長領域での透明性が高く、かつレジスト現像後に残渣物を発生しないレジスト用バインダーが容易に得られる。

請求項（抜粋）：

水素化率1〜40モル%、重量平均分子量3000〜15000の水素化ポリヒドロキシスチレンを極性溶媒に溶解し、次いでこれに脂肪族炭化水素系溶媒を加え十分に振とうしたのち、静置して分層し、極性溶媒層を分取し、この層から溶媒を除去することを特徴とするレジスト用バインダーの製造方法。

IPC (3件)：

C08F 8/04 MGB ,  C08L 25/18 LEK ,  G03F 7/033