特許

J-GLOBAL ID：200903075939901910

二波長反射防止膜

発明者： 大谷 実 ,  安藤 謙二 ,  鈴木 康之 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248146
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074905
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 波長193nmの紫外光と波長633nmの可視光に対して反射防止特性を有する二波長反射防止膜を実現する。【解決手段】 石英等の基板10上に、低屈折率膜21と高屈折率膜22を合計で6層ないし10層積層した交互多層膜20を設ける。空気媒質側から奇数層が低屈折率膜21、偶数層が高屈折率膜22であり、第1波長λ1 (193nm)における低屈折率膜21の屈折率が1.5〜1.6、高屈折率膜22の屈折率が1.7〜1.8である。空気媒質側から第1層の光学膜厚を0.24λ1 〜0.28λ1 、第2層と第3層の光学膜厚の和を0.44λ1 〜0.60λ1 として、上記二波長域における反射防止効果を得る。

請求項（抜粋）：

第1波長λ1 が193nm、第2波長λ2 が633nmであり、これらをそれぞれ中心波長とする2つの波長領域において反射防止特性をもつ二波長反射防止膜であって、空気媒質側から数えて奇数層を低屈折率膜、偶数層を高屈折率膜とする合計6層ないし10層の交互多層膜を有し、前記第1波長λ1 における前記高屈折率膜の屈折率が1.7〜1.8、前記低屈折率膜の屈折率が1.5〜1.6であり、前記空気媒質側から第1層の光学膜厚が0.24λ1 〜0.28λ1 、第2層の光学膜厚と第3層の光学膜厚の和が0.44λ1 〜0.60λ1 の範囲であることを特徴とする二波長反射防止膜。

IPC (3件)：

G02B 1/11 ,  C01B 33/113 ,  B32B 7/02 103

FI (3件)：

G02B 1/10 A ,  C01B 33/113 A ,  B32B 7/02 103

Fターム (27件)：

2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  4F100AA19B ,  4F100AA20A ,  4F100AC10C ,  4F100BA05 ,  4F100BA07 ,  4F100BA08 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100JA20A ,  4F100JA20B ,  4F100JN06 ,  4F100JN18A ,  4F100JN18B ,  4F100YY00A ,  4F100YY00B ,  4G072AA25 ,  4G072BB09 ,  4G072FF01 ,  4G072GG01 ,  4G072HH14 ,  4G072NN11 ,  4G072TT30 ,  4G072UU30