特許
J-GLOBAL ID：200903075941035332
三次元形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-010319
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218231
出願日： 1994年02月01日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 本発明は三次元形状測定装置に関し、被測定物の三次元形状を高精度に測定できることを目的とする。【構成】 被測定物に直線状のスリット光を照射して光切断線を撮像し、上記スリット光をその長手方向と垂直方向に移動して走査を行なう。偏光フィルタ(25)は、光切断線を撮像するカメラと被測定物との間に配置される。回転手段(26,46)は、偏光フィルタをカメラの光軸を中心として回転する。非正規度計算手段(40)は、撮像された光切断線の光量分布の非正規度を計算する。回転制御手段(41,42)は、各走査位置において上記非正規度が最小となるよう偏光フィルタを回転させる。
請求項（抜粋）：
被測定物に直線状のスリット光を照射して上記スリット光の長手方向と垂直方向に所定距離だけ離間した位置から上記被測定物の光切断線を撮像し、上記スリット光をその長手方向と垂直方向に移動して走査を行ない被測定物の三次元形状を測定する三次元形状測定装置において、上記光切断線を撮像するカメラと被測定物との間に配置された偏光フィルタと、上記偏光フィルタをカメラの光軸を中心として回転する回転手段と、撮像された光切断線の光量分布が正規分布からどれだけ異なるかを表わす非正規度を計算する非正規度計算手段と、各走査位置において上記非正規度が最小となるよう上記偏光フィルタを回転させる回転制御手段とを有することを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件)：
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