特許

J-GLOBAL ID：200903075953531033

狭帶域発振レーザ装置

発明者： 若林 理 ,  小若 雅彦 ,  小林 諭樹夫
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277820
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104520
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】 狭帯域発振レーザ装置に係わり、特には、縮小投影露光装置用の光源として用いられる狭帯域発振レーザ装置の改良に関する。【構成】 狭帯域化素子として少なくともグレーティングを配置した狭帯域レーザにおいて、グレーティングとレーザチャンバの間に少なくとも1枚のミラーを配置し、ミラーは出力レーザ光を全反射し、アライメントレーザ光を透過するコーティングを施し、ミラーを介して出力レーザ光の光軸とほぼ一致するようにアライメントレーザ光を導入する手段を備えている。また、前記ミラーは前記グーティングの選択波長を変化またはレーザの光軸を一致させるための角度調整機構を備えている。

請求項（抜粋）：

狭帯域化素子として少なくともグレーティングを配置した狭帯域レーザにおいて、グレーティングとレーザチャンバの間に少なくとも1枚のミラーを配置し、ミラーは出力レーザ光を全反射し、アライメントレーザ光を透過するコーティングを施し、ミラーを介して出力レーザ光の光軸とほぼ一致するようにアライメントレーザ光を導入する手段を備えたことを特徴とする狭帯域発振レーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/1055 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 M