特許
J-GLOBAL ID：200903075959369211

アクチュエ-タおよび変換器

発明者：
エリク ロエロフ,ロープストラ

エリク ロエロフ,ロープストラ について


出願人/特許権者：
エイエスエム リトグラフィー ベスローテン フエンノートシャップ

エイエスエム リトグラフィー ベスローテン フエンノートシャップ について


代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317171
公開番号（公開出願番号）：特開2000-201471
出願日： 1999年11月08日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 リソグラフィー装置のマスクと基板の高精度の配置に使用するような、部品の重量を支持するためのバイアス力を熱放散なく出し、且つ非常に大きなコンプライアンスのアクチュエータを提供すること。【解決手段】 このアクチュエータは、少なくとも一つの永久磁石14を有する磁石ヨーク10a、10b、およびこの磁石が生ずる磁界の中に配置し且つこの磁石ヨークに対して動き得る担体部材20を含む。この担体部材20は、それと磁石ヨーク10a、10bの間に相対バイアス力を生ずる補助磁性部材28を有する。このバイアス力を、それが非常に大きなコンプライアンスの軸受として作用するように、部品の重量を支持するために使うことができる。担体部材20は、電流を流してローレンツ力を生じるコイル26も含み、このアクチュエータの更なる制御ができる。
請求項（抜粋）：
装置であって:少なくとも一つの主磁石(14)を含む第1部材(10a)、および上記主磁石(14)と電磁相互作用するために、電流を通すための少なくとも一つの電流要素(26)を含む第2部材(20)、を含む装置に於いて、上記第2部材(20)が、更に、上記主磁石の磁界と相互作用して上記第1部材(10a)と第2部材(20)の間にバイアス力を生ずる補助磁性部材(28)を含むことを特徴とする装置。
IPC (6件)：
H02K 41/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02N 15/00
FI (6件)：
H02K 41/02 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/68 K ,  H02N 15/00 ,  H01L 21/30 503 A
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 電子機器
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-047001   出願人：ソニー株式会社
  • リニア直流モータ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232094   出願人：株式会社エフテム

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