特許
J-GLOBAL ID:200903075961286102
EEPROMおよびかかるEEPROMを含む論理LSIチップ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-106635
公開番号(公開出願番号):特開平6-334190
出願日: 1993年05月07日
公開日(公表日): 1994年12月02日
要約:
【要約】【目的】 標準のCMOSプロセスで簡単に製造できるEEPROMセルを提供することである。【構成】 本発明のEEPROMセルは、第1導電型の半導体基板に形成され、第2導電型の通電領域ならびにゲート電極を有する第1導電型の第1MOSトランジスタ、この基板に設けられた第2導電型のウエル、このウエル上に絶縁層を介して形成されたプレート電極、およびこのプレート電極に隣接してウエルに形成された第1導電型の領域を有する。第1MOSトランジスタのゲート電極およびプレート電極は共通に接続され、フローティングゲートとして働く。ウエルはコントロールゲートとして働く。
請求項(抜粋):
第1導電型の半導体基板に形成され、第2導電型の通電領域およびゲート電極を有する第1MOSトランジスタと、上記基板に設けられた上記第2導電型のウエルと、上記ウエル上に絶縁層を介して形成されたプレート電極とを含み、上記第1のMOSトランジスタのゲート電極および上記プレート電極が共通に結合されてフローティング・ゲートを形成し、上記ウエルがコントロールゲートとして働くことを特徴とするEEPROMセル。
IPC (3件):
H01L 29/788
, H01L 29/792
, H01L 27/115
FI (2件):
H01L 29/78 371
, H01L 27/10 434
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平2-054970
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特開平4-057293
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特開平2-151073
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