特許
J-GLOBAL ID:200903075988267126

スキャン・レンズおよび2つの偏向子を有する光学スキャナ・システム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-110022
公開番号(公開出願番号):特開平8-297253
出願日: 1996年03月26日
公開日(公表日): 1996年11月12日
要約:
【要約】【課題】 光学走査システムに関するより進歩した予備対物スキャナおよび対物レンズを提供する。【解決手段】 パスに沿って移動する放射ビーム16の2次元スキャンをもたらすように構成される、2つの偏向子H、Gおよびスキャン・レンズ18を含むスキャナを提供する。スキャン・レンズ18は、両偏向子からの、ビーム16の上記パスの流れに沿って位置され、最も遠い偏向子から、少なくともスキャン・レンズ18の焦点距離に等しい空気等価距離だけ離れるように位置される。
請求項(抜粋):
あるパスに沿って移動する放射ビーム(16)の2次元走査をもたらすように構成されたスキャナであって、(1) 前記ビーム(16)を第1のスキャン方向にわたり第1の角速度で回折させる第1の偏向子(H) と、(2) 前記ビーム(16)を第2のスキャン方向にわたり第2の角速度で回折させる第2の偏向子(G) であって、前記第2のスキャン方向は、前記第1のスキャン方向に対して本質的に垂直であるような偏向子(G) と、(3) 前記ビーム(16)をスポットに集光するため、前記両偏向子からの、前記ビーム(16)の前記パスの流れに沿って位置されるスキャン・レンズ(18)であって、その位置は、前記スキャン・レンズ(18)よりも最も離れて位置された前記走査用偏向子(H) が、前記スキャン・レンズ(18)から、少なくとも該スキャン・レンズ(18)の焦点距離に等しい空気等価距離だけ離れるような位置であるスキャン・レンズ(18)とを具備するスキャナ。
IPC (4件):
G02B 26/10 ,  G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 106 ,  G02B 13/00
FI (5件):
G02B 26/10 C ,  G02B 26/10 D ,  G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 106 ,  G02B 13/00
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 高速レーザ加工装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-041280   出願人:日立建機株式会社
  • 特開昭53-031148
  • 特開昭57-105715
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