特許
J-GLOBAL ID:200903075988813252
絶縁材料の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-153912
公開番号(公開出願番号):特開2001-332544
出願日: 2000年05月25日
公開日(公表日): 2001年11月30日
要約:
【要約】【課題】 極めて低い誘電率と良好な絶縁性を示すとともに、耐熱性にも優れた絶縁材料の製造方法を提供する。【解決手段】 常温・常圧で気体状態のガスを高温高圧下で絶縁材料に溶解させた後、1〜100MPa/Hrの減圧速度で溶解時の圧力より低い雰囲気にさらして微小な空隙を発生する工程を備えている絶縁材料の製造方法。
請求項(抜粋):
常温・常圧で気体状態のガスを高温高圧下で絶縁材料に溶解させた後、1〜100MPa/Hrの減圧速度で溶解時の圧力より低い雰囲気にさらして微小な空隙を発生する工程を備えている絶縁材料の製造方法。
IPC (6件):
H01L 21/312
, B29C 67/20
, C08J 7/04 CFH
, H01L 21/768
, B29K 63:00
, B29K 79:00
FI (7件):
H01L 21/312 B
, B29C 67/20 Z
, C08J 7/04 CFH Z
, B29K 63:00
, B29K 79:00
, H01L 21/90 S
, H01L 21/90 Q
Fターム (26件):
4F006AA42
, 4F006AB38
, 4F006BA08
, 4F006CA08
, 4F006DA04
, 4F212AA29
, 4F212AA40
, 4F212AE10
, 4F212AH33
, 4F212UA01
, 4F212UB01
, 4F212UF06
, 4F212UF30
, 4F212UH18
, 4F212UN16
, 5F033RR21
, 5F033RR22
, 5F033RR29
, 5F033SS22
, 5F033WW00
, 5F033XX24
, 5F058AA10
, 5F058AC02
, 5F058AC10
, 5F058AF04
, 5F058AG01
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