特許

J-GLOBAL ID：200903075989222894

研磨布の形状測定方法及び被加工物の研磨方法、並びに研磨布の形状測定装置

発明者： 土屋 敏弘
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-374779
公開番号（公開出願番号）：特開2004-202630
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】研磨布の表面形状の測定を被加工物を研磨するときの状態に近い条件で行って、高精度で信頼性の高い研磨布表面形状の測定を行うことのできる研磨布の形状測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】研磨定盤1に貼り付けられた研磨布2の表面形状を変位測定手段3を用いて測定する研磨布の形状測定方法において、前記変位測定手段3を研磨布2に接触させて垂直応力を加えるとともに、前記研磨定盤1及び/または変位測定手段3を回転させて研磨定盤1と変位測定手段3とを相対的に移動させながら研磨布の表面形状を測定することを特徴とする研磨布の形状測定方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

研磨定盤に貼り付けられた研磨布の表面形状を変位測定手段を用いて測定する研磨布の形状測定方法において、前記変位測定手段を研磨布に接触させて垂直応力を加えるとともに、前記研磨定盤及び/または変位測定手段を回転させて研磨定盤と変位測定手段とを相対的に移動させながら研磨布の表面形状を測定することを特徴とする研磨布の形状測定方法。

IPC (3件)：

B24B49/10 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

FI (5件)：

B24B49/10 ,  B24B37/00 A ,  B24B37/00 C ,  H01L21/304 622M ,  H01L21/304 622S

Fターム (9件)：

3C034AA19 ,  3C034BB91 ,  3C034CA30 ,  3C034CB12 ,  3C034DD10 ,  3C058AA07 ,  3C058BB01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17