狭帯域化レーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-154954
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332792
出願日： 2000年05月25日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】注入同期におけるマスター発振器とスレイブ発振器とを1つのレーザチャンバを用いて実現し、しかも所望のパワーのレーザ光を効率良く出力することができる狭帯域化レーザ装置を提供すること。【解決手段】二面鏡3は、平面である部分反射面6と凹面(入射光に対しては凸面)である全反射面7とが形成されているフッ化カルシウムの凹面基板から構成されている。つまり、その凹面基板の表面と裏面の曲率半径が異なっている。部分反射面6(平面側)と全反射鏡2とで平面対平面のマスター発振器の光共振器が構成されている。全反射面7と穴付き凹面鏡5の反射面とで凹面対凹面のスレイブ発振器の光共振器が構成されている。

請求項（抜粋）：

1つのレーザチャンバの長手方向における一方の側に対向して配置された反射手段を光共振器の共通の構成要素とするマスター発振器およびスレイブ発振器を有し、前記スレイブ発振器によって、前記反射手段を介して注入された前記マスター発振器からの狭帯域化されたシード光を増幅して出力するようにした狭帯域化レーザ装置において、前記反射手段は、入射した光を平行光および所定のビーム拡がり角を有する光として反射させる光学部材で形成されていると共に、前記平行光が前記マスター発振器における光共振器間に形成される光路を進行するように、かつ、前記所定のビーム拡がり角を有する光が前記スレイブ発振器における光共振器間に形成される光路を進行するように配置されていることを特徴とする狭帯域化レーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/137 , H01S 3/22

FI (2件)：

H01S 3/137 , H01S 3/22 Z

Fターム (11件)：

5F071AA04 , 5F071DD05 , 5F071JJ02 , 5F072AA06 , 5F072JJ02 , 5F072JJ13 , 5F072KK06 , 5F072KK08 , 5F072KK26 , 5F072MM08 , 5F072SS06

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-002188
特開昭49-055293
特開平2-002188

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