特許

J-GLOBAL ID：200903076007651530

ポジ型感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  児玉 邦彦 ,  上西 一也 ,  山中 司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-052006
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244234
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 光感度が高く、優れたレジストパターンが得られ、露光後経時での変化の少ないポジ型感光性組成物を提供できる。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基、又はアリール基を示す。X- はエステル基を少なくとも1個以上有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R