粒子形状の光学的識別装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073914
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255261
出願日： 2000年03月13日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課題】高いSN比で粒子のフーリエ像を検出する。【解決手段】光源を発した光をピンホール、透過率が徐々に変化する絞りを介して粒子に照射する。また、フーリエ面にフィルタ手段を設け、後に結像レンズを設置した。【効果】ピンホールと絞りで空間的に一様性の高い光を得ると共にフーリエ面上のフィルタと結像レンズを用いることによりフーリエ面の雑音成分を効率よく取り除く。

請求項（抜粋）：

粒子に光源から発したコヒーレント光を照射し、レンズの焦点面での光強度分布から粒子のフーリエ像を取得し、これから粒子形状を識別する装置において、集光点中心一部を透過領域としたミラーを光軸に対して傾斜させて設置し、反射光を結像レンズを介して光検出器アレイに結像させることにより焦点面での光強度分布を検出することを特徴とする粒子形状の光学的識別装置。

IPC (2件)：

G01N 15/14 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01N 15/14 P , G01B 11/24 K

Fターム (21件)：

2F065AA45 , 2F065BB05 , 2F065BB15 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF41 , 2F065GG06 , 2F065GG18 , 2F065GG22 , 2F065HH03 , 2F065HH15 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065KK03 , 2F065LL28 , 2F065LL30 , 2F065QQ24 , 2F065RR09 , 2F065TT08 , 2F065UU02

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