特許

J-GLOBAL ID：200903076017731280

カラーフイルター基板の製造方法

発明者： 原田 浩信 ,  河村 有紀
出願人/特許権者： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307064
公開番号（公開出願番号）：特開平5-119306
出願日： 1991年10月25日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【構成】透明基体1、カラーフィルター2、樹脂保護膜3、透明導電性金属化合物薄膜4(ITO等)の積層構造のカラーフィルター基板の製造方法において、薄膜4と保護膜3との間に、TiO2 ,ZrO2 ,Al2 O3 ,SiO2 等を主成分とし、薄膜4と保護膜3の付着力を強化しうる中間層5を設ける。【効果】透明導電性金属化合物薄膜4のパターニング特性が向上し、サイドエッチを防止できる。

請求項（抜粋）：

透明基体1、カラーフィルター2、樹脂保護膜3、透明導電性金属化合物薄膜4の積層構造からなるカラーフィルター基板の製造方法において、透明導電性金属化合物薄膜4と樹脂保護膜3との間に、絶縁性金属酸化物を主成分とし、透明導電性金属化合物薄膜4と樹脂保護膜3の付着力を強化しうる中間層5を設けることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 505 ,  B32B 7/04 ,  B32B 9/00