特許
J-GLOBAL ID:200903076022788835

フレキシブルワイヤグリッド偏光子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (10件): 萼 経夫 ,  宮崎 嘉夫 ,  舘石 光雄 ,  小野塚 薫 ,  田上 明夫 ,  ▲高▼ 昌宏 ,  中村 壽夫 ,  加藤 勉 ,  村越 祐輔 ,  小宮 知明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-132643
公開番号(公開出願番号):特開2005-316495
出願日: 2005年04月28日
公開日(公表日): 2005年11月10日
要約:
【課題】可視光線の帯域で使用されるフレキシブルワイヤーグリッド偏光子及びその製造方法の提供。【解決手段】フレキシブルワイヤーグリッド偏光子を製造するため、下部基板の領域に非接着層を形成し(231)、次に下部基板上にポリマー層(232)、フレキシブルポリマー基板(233)を形成し、金属薄膜を蒸着する(234)。金属薄膜をエッチングして一定の周期を持つ金属格子パターンを形成し(235、236)、 ウェハ全体をダイシングして、前記ダイシングされたウェハから前記非接着層が形成された下部基板を分離して(237、238)、フレキシブルワイヤーグリッド偏光子を完成する。【選択図】図10
請求項(抜粋):
所定の厚さを有するフレキシブルポリマー基板と、 前記フレキシブルポリマー基板上の、所定の周期で可視光線を偏光させる金属格子とを含むことを特徴とするフレキシブルワイヤーグリッド偏光子。
IPC (1件):
G02B5/30
FI (1件):
G02B5/30
Fターム (6件):
2H049BA02 ,  2H049BA45 ,  2H049BB51 ,  2H049BC08 ,  2H049BC14 ,  2H049BC25
引用特許:
審査官引用 (1件)

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