特許
J-GLOBAL ID：200903076024035508
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166963
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335209
出願日： 1992年06月02日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 所謂複数傾斜照明又は輪帯照明等を行う場合に、簡単な構成で、且つ受光面の小さな反射率モニターを用いて、ウエハの反射率をモニターする。【構成】 ウエハWから反射された露光光を投影光学系PL、レチクルR、ミラー17、主コンデンサーレンズ16及びビームスプリッター15を介して反射率モニター25に導く。反射率モニター25を面P1の2次光源像の最内部からの光線IL3が交差する面P2と、面P1の2次光源像の最外部からの光線IL4が交差する面P3との間に配置する。
請求項（抜粋）：
露光光を発生する光源と、前記露光光により2次光源を形成する2次光源形成手段と、前記2次光源からの前記露光光を集光してマスクを照明するコンデンサー光学系と、前記マスクのパターンを前記露光光のもとでステージ上の感光基板に転写する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記2次光源形成手段は、前記コンデンサー光学系の光軸に対して偏心した2次光源を形成し、前記2次光源形成手段と前記投影光学系との間に配置されたビームスプリッターと、前記投影光学系及び前記ビームスプリッターを介して分離される前記ステージ上の物体からの反射光により形成される偏心した2次光源像の最内部から最も内方へ向かう光線同士が交差する第1の面と、該偏心した2次光源像の最外部から最も内方へ向かう光線同士が交差する第2の面との間に設けられた光電変換素子と、該光電変換素子からの光電変換信号に基づいて前記投影光学系の結像特性を制御する結像特性制御手段とを有する事を特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
