特許
J-GLOBAL ID：200903076030701021
磁気力顕微鏡用カンチレバー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-040318
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249933
出願日： 1993年03月01日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 従来技術では測定困難であった垂直磁気記録媒体の記録状態を明確に測定することが可能である。【構成】 探針と板バネからなる磁気力顕微鏡用カンチレバ-として、ステンレス鋼箔1を加工して形成された板バネ2の先端部に探針3を取り付け、探針を硬磁性薄膜でコ-ティングしたものを用いる。
請求項（抜粋）：
先端に硬磁性薄膜が形成された探針と板バネとからなる磁気力顕微鏡用カンチレバー
IPC (6件)：
G01R 33/12
, G01R 33/02
, G01R 33/10
, G11B 5/00
, H01F 10/16
, H01J 37/28
