特許
J-GLOBAL ID：200903076034557952
ウェファ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228833
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074816
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 高速搬送が可能で、アーム先端部へのウェファの載置も容易で、しかもウェファを欠損する恐れのないウェファ搬送装置を提供することである。【解決手段】 アーム先端部5にウェファ6を載置して搬送するウェファ搬送装置において、アーム先端部において、載置されるウェファの外形に沿った位置に少なくとも3個のL字状部材7を設ける。各L字状部材は一対の片とその結合部を有し、その結合部において前記アーム先端部に搖動可能に支持される。一方の片7aが立上り他方の片7bが上記載置されるウェファの中心位置に向って延びる。ウェファを載置した時に各L字状部材の他方の片がそのウェファの重さを受けて、一方の片がウェファ中心に近付くように各L字状部材を搖動させ、ウェファが載置されていない時には該一方の片が載置されるウェファ中心から離れ、放射状外側の方向に揺動するように各L字状部材を付勢する手段を備える。
請求項（抜粋）：
アーム先端部にウェファを載置して搬送するウェファ搬送装置において、アーム先端部において、載置されるウェファの外形に沿った位置に設けられた少なくとも3個のL字状部材であって、各L字状部材は一対の片とその結合部を有し、その結合部において前記アーム先端部に搖動可能に支持され、一方の片が立上り他方の片が上記載置されるウェファの中心位置に向って延びる、少なくとも3個のL字状部材と、ウェファを載置した時に各L字状部材の他方の片がそのウェファの重さを受けて、一方の片がウェファ中心に近付くように各L字状部材を搖動させ、ウェファが載置されていない時には該一方の片が載置されるウェファ中心から離れ、放射状外側の方向に揺動するように各L字状部材を付勢する手段とを備えることを特徴とするウェファ搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
