特許
J-GLOBAL ID：200903076037586341
走査プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-016497
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215017
出願日： 2002年01月25日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 像の歪誤差をより小さくすることができる、プローブと試料との相対的な2次元走査を行いうる走査プローブ顕微鏡を実現する。【解決手段】 XY電極2〜5に電圧を印加し、チューブ1をXY方向に駆動し、プローブ7をXY面上で走査する。この走査によって、反射鏡10が傾き、その傾きによって反射鏡10で反射されたレーザ光の傾きが変化する。このレーザ光の傾きの変化によって、光検出器12に入射するレーザ光の位置が変化し、その変化量は、光検出器12によって検出される。光検出器12の検出信号は、制御CPU21に供給される。制御CPU21は、供給された検出信号を制御量としてXY制御回路17を制御する。XY制御回路17は、XY走査回路18を制御し、プローブ7がXY面上で一定の速度で試料16の所定領域を走査するように、XY走査回路18からXY電極2〜5に印加する電圧を調整する。
請求項（抜粋）：
先端に探針を有したカンチレバーと試料とを相対的に走査し、試料表面の形状や物性を観察するようにした走査プローブ顕微鏡であって、カンチレバーと試料のいずれかを走査するためのスキャナとしてチューブ形圧電体を用い、XY走査用圧電体に走査電圧信号を印加し、電圧信号に応じて圧電体を湾曲させてカンチレバーと試料のいずれかを変位させるようにした走査プローブ顕微鏡において、XY走査用圧電体と一体となって変位する反射鏡と、反射鏡にレーザ光を照射するための光源と、反射鏡によって反射された光を検出する光検出器とを設け、光検出器によって検出された信号に応じて圧電体に印加する電圧を制御するように構成した走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/10 F
, G01B 21/30
2F069AA60
, 2F069BB40
, 2F069CC02
, 2F069EE20
, 2F069EE22
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069GG62
, 2F069HH05
, 2F069HH09
, 2F069HH30
, 2F069JJ07
, 2F069JJ25
, 2F069LL03
, 2F069MM04
, 2F069MM32
