特許

J-GLOBAL ID：200903076048466429

薄膜コンデンサ

発明者： 小松 周一 ,  阿部 和秀
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-307920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144664
出願日： 1991年11月22日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】 ペロブスカイト構造を有する誘電体材料を用いた際に発生するリーク電流を低減し得る薄膜コンデンサを提供することを目的とする。【構成】 ペロブスカイト構造の誘電体材料よりなる誘電体薄膜の上,下部電極との境界部分に、A2 B2 O7 (A,Bは金属)型構造をもつ誘電体材料よりなる界面層を堆積する。【効果】 リーク電流を減少させることができる。

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト構造を有する誘電体材料よりなる誘電体薄膜と、前記誘電体薄膜を介して対向形成された上部電極及び下部電極を具備してなる薄膜コンデンサにおいて、前記誘電体薄膜の前記上部電極との境界面,及び前記下部電極との境界面のうち、少なくとも一方にA2 B2 O7 型構造(A,Bは金属)を有する誘電体材料よりなる界面層を堆積したことを特徴とする薄膜コンデンサ。