特許
J-GLOBAL ID：200903076053742361
表面検査装置及び表面検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037589
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225193
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】本発明は表面検査装置及び表面検査方法において、検査対象物の表面を画像処理によつて検査する際に、正常領域と異常領域とを確実に領域分割して検査精度を向上し得る。【構成】撮像手段12によつて撮像された検査対象物の表面1のアナログ信号データをアナログ-デイジタル変換手段19によつてデイジタル信号データに変換して、原画像23として記録媒体20に記録し、記録媒体20に記録された原画像23のデイジタル信号データに対して、制御手段14により画像処理手段21を介して、輝度値に基づいてラベル付けすることにより、原画像23を輝度値に基づいて直接領域分割し得る。
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面を撮像し、撮像することによつて得られた画像を輝度の違いに基づいて領域分割することにより、上記検査対象物の表面を検査する表面検査装置において、検査対象物の表面の光学的な拡大画像を得、当該光学的な拡大画像を輝度値に応じたビデオ信号に変換する撮像手段と、上記ビデオ信号をアナログ信号データからデイジタル信号データに変換するアナログ-デイジタル変換手段と、上記デイジタル信号データを原画像として記録する記録媒体と、上記記録媒体に記録された上記原画像に対して、画像処理する画像処理手段と、上記画像処理手段を制御することにより、上記原画像の領域を分割して当該領域間の接続状態、接触状態及び位置を検出すると共に、さらに当該領域の面積を算出する制御手段とを具えることを特徴とした表面検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06T 7/00
, G11B 5/455
