特許

J-GLOBAL ID：200903076054059851

ズームレンズ

発明者： 芝山 敦史 ,  大下 孝一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266549
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107474
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 通常の透光部と遮光部とのみからなり良好な像質が得られるとともに、製造、修正等が容易なマスクを得る。また遮光部と透光部とのみからなるマスクを使用しても、高解像度、大焦点深度の得られる露光方法を得る。【構成】 各パターン要素(P1〜P6)のエッジが孤立的か否か、或いは終端部か否かに基づいて、各線幅を微小量だけ設計値から増減させるようマスク11上のパターン12を修正する。そして一部が修正されたパターン12が形成されたマスク11を使用し、マスク11のフーリエ変換面15面を通る照明光束を照明系の光軸AXから偏心した位置に中心を有する2つの局所領域7a、7bに制限することよって、マスク11を所定量傾いた照明光で照明する。この露光方法により、高解像度、大焦点深度が得られるとともに、良好な像質が得られる。

請求項（抜粋）：

正の屈折力を有する第1レンズ群G<SB>1 </SB>と負の屈折力を有する第2レンズ群G<SB>2 </SB>とを有し、両レンズ群の空気間隔を変化させてズーミングを行うズームレンズにおいて、前記第1レンズ群G<SB>1 </SB>は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズを含み全体として正の屈折力の前方レンズ群G<SB>F </SB>と、負レンズと正レンズとを持つと共に物体側に凸の接合面を持つ接合レンズを少なくとも含み全体として負の屈折力の中間レンズ群G<SB>M </SB>と、両凸形状の正レンズを含み全体として正の屈折力の後方レンズ群G<SB>R </SB>とから構成され、前記第2レンズ群G<SB>2 </SB>は、物体側より順に、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けた形状から形成される負レンズとを有し、前記中間レンズ群G<SB>M </SB>は、最も物体側に凹のレンズ面を有すると共に、最も像側に凸のレンズ面を有し、以下の条件を満足することを特徴とするズームレンズ。(1) 0.7 <|f<SB>1 </SB>/f<SB>2 </SB>|<1.15 ,f<SB>2 </SB><0(2) 0.6 <|r<SB>A </SB>/f<SB>w </SB>|<1.0 ,r<SB>A </SB><0(3) 0.25 <r<SB>B </SB>/f<SB>w </SB><0.5(4) 0.2 <n<SB>F </SB>-n<SB>R </SB>(5) 15 <ν<SB>R </SB>-ν<SB>F </SB>(6) 1.7 <n<SB>11</SB>(7) 1.7 <n<SB>21</SB>但し、f<SB>1 </SB>:前記第1レンズ群G<SB>1 </SB>の焦点距離、f<SB>2 </SB>:前記第2レンズ群G<SB>2 </SB>の焦点距離、f<SB>w </SB>:ズームレンズの広角端の焦点距離、r<SB>A </SB>:前記中間レンズ群G<SB>M </SB>の最も物体側のレンズ面の曲率半径、r<SB>B </SB>:前記中間レンズ群G<SB>M </SB>中の接合レンズの接合面の曲率半径、n<SB>F </SB>:前記中間レンズ群G<SB>M </SB>中の接合レンズの接合面より物体側の媒質の屈折率、n<SB>R </SB>:前記中間レンズ群G<SB>M </SB>中の接合レンズの接合面より像側の媒質の屈折率、ν<SB>F </SB>:前記中間レンズ群G<SB>M </SB>中の接合レンズの接合面より物体側の媒質のアッベ数、ν<SB>R </SB>:前記中間レンズ群G<SB>M </SB>中の接合レンズの接合面より像側の媒質のアッベ数、n<SB>11</SB>:前記前方レンズ群G<SB>F </SB>中の正メニスカスレンズの屈折率、n<SB>21</SB>:前記第2レンズ群G<SB>2 </SB>中の正メニスカスレンズの屈折率、である。

IPC (2件)：

G02B 15/16 ,  G02B 13/18