特許
J-GLOBAL ID：200903076059137796
電子線マイクロアナライザ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-308777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147782
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 二次電子の回収効率の高い二次電子検出器を備えた電子線マイクロアナライザを提供する。【解決手段】 試料Sに電子線を照射することによって試料分析を行う電子線マイクロアナライザにおいて、試料Sから放出される二次電子42を検出する二次電子検出器3と、入射電子線41を挟んで二次電子検出器3と反対方向に負電圧にバイアスされたバイアスケーブル21とを備える。バイアスケーブル21を入射電子線42を挟んで二次電子検出器3と反対方向に配置することによって、試料Sから発生した二次電子42は形成した電場を通り、試料Sから二次電子検出器3と反対側に放出された二次電子42についてもバイアスケーブル21から二次電子検出器3に向かう正電場内に捕らえる。これによって、試料Sから発生した二次電子42に対する二次電子検出器3の回収効率を高める。
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射することによって試料分析を行う電子線マイクロアナライザにおいて、試料から放出される二次電子を検出する二次電子検出器と、入射電子線を挟んで二次電子検出器と反対方向に負電圧にバイアスされたバイアス部とを備えたことを特徴とする電子線マイクロアナライザ。
IPC (2件)：
H01J 37/252
, G01N 23/225
H01J 37/252 A
, G01N 23/225
