特許

J-GLOBAL ID：200903076066422048

電機子ユニット、電磁アクチュエータ、ステージ装置、露光装置及びこれを用いたデバイスの製造方法

発明者： 菊池 俊秀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-254316
公開番号（公開出願番号）：特開2002-078314
出願日： 2000年08月24日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 冷却媒体の圧力を高めたり流路を大きくせずに、電磁アクチュエータの局所的な温度上昇を抑えて、高精度の温度管理を可能にする。【解決手段】 リニアモータ100は、内部にコイル112が配置された第1のハウジング111と、内部に冷却媒体用の第1の流路143が設けられた第2のハウジング140と、第1のハウジング111と第2のハウジング140とを連通する補助冷却装置150とを備える。補助冷却装置150の冷却棒151は一端に設けられたメッシュ状平板152がコイル112に接続され、他端に設けられた放熱フィン154が第2のハウジング140の第1の流路143内に配置されている。

請求項（抜粋）：

内部にコイルが配置されたハウジングと、前記ハウジングの壁面を貫通し、一端が前記コイルに接続され、他端が冷却手段に接続された熱伝達手段とを有することを特徴とする電機子ユニット。

IPC (8件)：

H02K 41/02 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  H02K 9/19 ,  H02K 9/22 ,  H02K 41/03 ,  H05K 7/20

FI (9件)：

H02K 41/02 Z ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H02K 9/19 A ,  H02K 9/22 Z ,  H02K 41/03 A ,  H05K 7/20 F ,  H05K 7/20 M ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (49件)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB12 ,  2F078CB16 ,  2F078CC11 ,  2F078CC14 ,  5E322AA07 ,  5E322AA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5H609BB08 ,  5H609BB24 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ04 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ07 ,  5H609QQ10 ,  5H609QQ23 ,  5H609RR01 ,  5H609RR26 ,  5H609RR32 ,  5H609RR37 ,  5H609RR58 ,  5H609RR68 ,  5H609RR74 ,  5H609SS17 ,  5H609SS20 ,  5H609SS21 ,  5H609SS23 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG25 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641JA06 ,  5H641JB03 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05 ,  5H641JB10