特許
J-GLOBAL ID：200903076074793845
検査用基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-176941
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007167
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 メンブレンシートに設けられているプローブ端子と配線基板の配線層とを確実に接続させる。【解決手段】 配線基板10の周縁部には、メンブレンシート11の平面方向の位置を高精度に位置決めする例えば4個の平面方向位置決め手段13が設けられていると共に、メンブレンシート11の周方向の位置を高精度に位置決めする周方向位置決め手段14が設けられている。また、配線基板10の周縁部には、メンブレンシート11を配線基板10に固定する例えば2つの固定手段15が設けられている。平面方向位置決め手段13を用いて、メンブレンシート11の配線基板10に対する平面方向の位置決めした後、周方向位置決め手段14を用いて、メンブレンシート11の配線基板10に対する周方向の位置決めをする。その後、固定手段15を用いて、メンブレンシート11を配線基板10に対して固定する。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハに形成された複数の半導体集積素子の各検査用電極に電圧を印加して前記複数の半導体集積回路素子の電気特性をウェハ状態で一括して検査するための検査用基板の製造方法であって、前記複数の半導体集積回路素子の各検査用電極と対応する位置にプローブ端子を有するメンブレンシートを、配線層が形成されていると共に周縁部に前記メンブレンシートの平面方向の位置を高精度に位置決めする平面方向位置決め手段を有する配線基板の上に配置する工程と、前記平面方向位置決め手段を用いて、前記メンブレンシートの前記配線基板に対する平面方向の位置決めをする工程と、前記メンブレンシートを前記配線基板に固定する工程とを備えていることを特徴とする検査用基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 D
, G01R 1/073 F
2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC06
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106BA14
, 4M106CA70
, 4M106DD01
, 4M106DD10
, 4M106DD11
, 4M106DD13
, 4M106DD30
