光分岐回路の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤谷修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061736
公開番号（公開出願番号）：特開平8-234034
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】光分岐回路の汎用性に富んだ、効率のよい製造を行うこと。【構成】光分岐回路10は、透明なガラス基板2上に、フルオロアルキルメタクリレートから成るアンダークラッド層3と、ポリメチルメタクリル材から成り、溝部12に透明な高分子材料が溶解している溶液を付着させ、その溶液を乾燥させることによって形成された反射ミラー13を有するコア層1(光導波路層)と、テフロン系コーティング材から成るオーバークラッド層4と、光導波路の保護のための上部基板5とが順次積層形成されて構成され、反射ミラー13の形状は溶液の粘度や溶解性、溝部12の溶液への浸漬時間、乾燥温度、乾燥時間、雰囲気ガス等により制御される。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された光導波路に、該光導波路内を通る導波光の一部もしくは全部を反射するミラーが一体的に形成された光分岐回路の製造方法であって、(a)透明基板上に、アンダークラッド層、光導波路層を順次成膜する工程と、(b)前記光導波路のパターンの一部に開口部を備えたエッチングマスクをフォトリソグラフィー法により前記光導波路層上に転写する工程と、(c)前記転写されたエッチングマスクを介してその下層の前記光導波路層をドライエッチング法によりエッチングする工程と、(d)ドライエッチングにより形成された前記光導波路層中の溝部に透明な高分子材料が溶解している溶液を付着させ、該溝部に表面張力により留まった該溶液以外を概略除去した後、該溝部に表面張力により留まった該溶液を徐々に乾燥する工程とから成ることを特徴とする光分岐回路の製造方法。

前のページに戻る