金属酸化物光触媒体及びその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-116492
公開番号（公開出願番号）：特開2003-311157
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年11月05日
要約：

【要約】【課題】安価に製造することができ、高い光触媒活性を呈する金属酸化物光触媒体及びその製造方法を提供する。【解決手段】導入ガスに酸素を含み、酸素を12体積%、導入ガスの全圧を4mTorr以上10mTorr以上の条件下で、金属酸化物ターゲット24をスパッタリングし、基板30の表面上への金属酸化物を成膜することによって、プラスチック等の樹脂材料を基板30とした金属酸化物光触媒体を得ることができる。このような金属酸化物光触媒体は平均表面粗さが2.5nm以上1000nm以下であり、結晶性の金属酸化物を含み、高い光触媒活性を呈した。

請求項（抜粋）：

結晶性の金属酸化物を含む光触媒膜を基板上に形成してなる金属酸化物光触媒体であって、前記光触媒膜の平均表面粗さRaが2.5nm以上1000nm以下であることを特徴とする金属酸化物光触媒体。

IPC (6件)：

B01J 35/02 , B01J 21/06 , B01J 37/02 301 , C01G 23/04 , C23C 14/08 , C23C 14/34

FI (6件)：

B01J 35/02 J , B01J 21/06 Z , B01J 37/02 301 P , C01G 23/04 C , C23C 14/08 E , C23C 14/34 N

Fターム (31件)：

4G047CA02 , 4G047CB04 , 4G047CC03 , 4G047CD02 , 4G047CD07 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BA02A , 4G069BA04A , 4G069BA04B , 4G069BA48A , 4G069EC22X , 4G069EC22Y , 4G069EC25 , 4G069EC27 , 4G069EC28 , 4G069FA01 , 4G069FA03 , 4G069FB02 , 4G069FC06 , 4G069FC07 , 4G069FC08 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA48 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC35 , 4K029EA00 , 4K029EA08

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