特許

J-GLOBAL ID：200903076105068435

エアブリッジ配線構造

発明者： 野田 実
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266678
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089940
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 エアブリッジ配線の橋桁部分の下方へのたわみを抑制して、長スパン化を可能とすることにより、高速化に有効なエアブリッジ配線をLSIレベルに適用可能として、LSIレベルのICの動作の高速化を図る。【構成】 エアブリッジ配線の上部にたわみ補強材を形成し、その補強材として上に凸のストレスを有する材料を用いる。【効果】 エアブリッジ配線の橋桁部分の下方への湾曲を防止して、充分な橋桁の長さが確保できることにより、エアブリッジ配線の利用範囲が広がり、エアブリッジ配線を用いてICの動作を高速化することが出来る。

請求項（抜粋）：

一対の橋脚部と、該一対の橋脚部間に架け渡された橋桁部とを有するエアブリッジ金属配線と、上記エアブリッジ金属配線の橋桁部の上面上にたわみ補強材とを有することを特徴とするエアブリッジ配線構造。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-094450
  
• 特開平1-144656
  
• 特開平3-008361