特許

J-GLOBAL ID：200903076106774945

半導体試験装置のデバイス用電源装置

発明者： 石田 敦彦 ,  久津野 孝夫 ,  池田 宏史
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高橋 浩三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-348137
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166005
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 測定精度を低下させることなく大電流レンジで測定したのと同じくらいの速さで微小電流の測定を行えるようにする。【解決手段】 被測定デバイス(2)に電圧を印加して被測定デバイス(2)の電流を測定する電圧印加電流測定機能試験を行う場合に、最大電流レンジ用リレー手段(K1)と測定電流レンジ用リレー手段(K2〜K6のいずれか一つ)との両方をオン状態にし、電圧印加直後に最大電流レンジ用リレー手段(K1)をオフ状態にしてから電流の測定を行う。

請求項（抜粋）：

被測定デバイスに電圧を印加して被測定デバイスの電流を測定する電圧印加電流測定機能を備えた半導体試験装置のデバイス用電源装置において、最大電流レンジ設定手段及び測定電流レンジ設定手段の両方をオン状態にし、前記電圧印加直後に前記最大電流レンジ設定手段をオフ状態にして前記電流の測定を行うようにしたことを特徴とする半導体試験装置のデバイス用電源装置。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  G01R 15/08 ,  G01R 31/26 ,  G05F 1/10 301

FI (4件)：

G01R 31/26 G ,  G05F 1/10 301 B ,  G01R 31/28 H ,  G01R 15/08 Z

Fターム (25件)：

2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AC00 ,  2G003AE01 ,  2G003AF06 ,  2G003AH04 ,  2G025BA00 ,  2G032AA00 ,  2G032AB01 ,  2G032AD01 ,  2G032AE14 ,  2G032AG01 ,  2G032AG09 ,  5H410BB04 ,  5H410CC02 ,  5H410DD02 ,  5H410EA12 ,  5H410EB16 ,  5H410EB37 ,  5H410FF03 ,  5H410FF05 ,  5H410FF25 ,  5H410GG07 ,  9A001KK54 ,  9A001LL05