特許
J-GLOBAL ID：200903076115536593
故障検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高松 猛
, 市川 利光
, 橋本 公秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-168972
公開番号（公開出願番号）：特開2007-333685
出願日： 2006年06月19日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：
【課題】不良発生のタイミングを解析可能な故障検査装置を提供すること。【解決手段】故障検査装置は、テストパターンを用いて集積回路の故障検査を行う。故障検査装置は、一定のクロック周波数でテストパターンを集積回路に送る送信部と、利得可変増幅器を有し、集積回路に検査電圧を印加する電圧印加部と、利得可変増幅器の利得を制御する制御部と、テストパターンに基づいて集積回路で処理された結果を受け取る受信部とを備える。制御部は、集積回路の検査中に利得可変増幅器の利得を制御して、検査電圧を変更する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
テストパターンを用いて集積回路の故障検査を行う故障検査装置であって、
一定のクロック周波数で前記テストパターンを前記集積回路に送る送信部と、
利得可変増幅器を有し、前記集積回路に検査電圧を印加する電圧印加部と、
前記利得可変増幅器の利得を制御する制御部と、
前記テストパターンに基づいて前記集積回路で処理された結果を受け取る受信部と、を備え、
前記制御部は、前記集積回路の検査中に前記利得可変増幅器の利得を制御して、前記検査電圧を変更することを特徴とする故障検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2G132AB01
, 2G132AC03
, 2G132AE08
, 2G132AE14
, 2G132AE22
, 2G132AE27
, 2G132AG01
, 2G132AG08
, 2G132AL12
