特許

J-GLOBAL ID：200903076124132519

熱処理炉

発明者： 吉田 祐治
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-372654
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195808
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】熱処理炉に於いて、成膜処理中の熱の漏出を防止し温度制御性能の向上を図ると共に省電力化を図る。【解決手段】ヒータ2内部に連通する排気管6に、上流側より熱遮蔽シャッタ7、ラジエタ8、ファン用バルブ19、吸気ファン9を設けた熱処理炉に係り、前記ファン用バルブは熱遮蔽シャッタからの熱の漏出を防止し、成膜処理中の部分冷却を抑制し、又ファン用バルブは冷却停止時の炉内雰囲気空気の流出を瞬時に停止し、吸気ファンの停止時の過渡状態がロスタイムをなくする。

請求項（抜粋）：

ヒータ内部に連通する排気管に、上流側より熱遮蔽シャッタ、ラジエタ、ファン用バルブ、吸気ファンを設けたことを特徴とする熱処理炉。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511

FI (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 A

Fターム (8件)：

5F045AA20 ,  5F045AD08 ,  5F045BB08 ,  5F045EG02 ,  5F045EG10 ,  5F045EJ04 ,  5F045EK06 ,  5F045GB15