特許

J-GLOBAL ID：200903076131457466

バンプ形成用キャピラリ

発明者： 成見 勲
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 金倉 喬二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130521
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326523
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：

【要約】【目的】 バンプ高さを高く、バンプ直径を小さく形成し、狭ピッチ化するIC上への安定したバンプ形成を実現することを目的とする。【構成】 ワイヤ22を通過するワイヤホール23を中心に貫通して構成するバンプ形成用キャピラリにおいて、前記ワイヤホール23の先端部を底面側に垂直にあけて底面と直結し、かつワイヤホール20の先端径は通過するワイヤ22の直径に出来るだけ近くなるように形成する。

請求項（抜粋）：

ワイヤを通過するワイヤホールを中心に貫通して構成するバンプ形成用キャピラリにおいて、前記ワイヤホールの先端部を底面側に垂直に明けて底面と直結し、かつワイヤホール先端径は通過するワイヤの直径に出来るだけ近くなるように形成する事を特徴とするバンプ形成用キャピラリ。