特許
J-GLOBAL ID：200903076133548795
光透過用合成石英ガラス
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂上 照忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-022576
公開番号（公開出願番号）：特開平6-234545
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】均質で、光照射時の安定性が高い光透過用合成石英ガラスの提供。【構成】気相合成法により得られる合成石英ガラスであって、この石英ガラス中の塩素濃度が5ppm 以下、OH基濃度が100ppm以下でかつその濃度の位置による変動幅が30ppm 以下であり、しかも紫外領域において光吸収帯が検出されないという特性を有する光透過用合成石英ガラス。【効果】特に紫外領域の光を扱う光学部品用の合成石英ガラスとして好適で、リソグラフィー装置をはじめ、その他の高集積回路製造装置や、紫外領域のレーザーを利用した各種装置にも適用することができる。
請求項（抜粋）：
気相合成法により得られる合成石英ガラスであって、この合成石英ガラスの塩素濃度が5ppm 以下、OH基濃度が100ppm以下でかつOH基濃度の位置による変動幅が30ppm 以下であり、しかも紫外領域において光吸収帯が検出されないことを特徴とする光透過用合成石英ガラス。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭64-024048
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特開昭64-024048
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