特許
J-GLOBAL ID：200903076140677231
赤外線検出器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-047403
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243449
出願日： 1996年03月05日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 受光部に真空気密を要するボロメータ方式、サーモパイル方式、および焦電方式の赤外線検出器を、小型、低コストで提供する。【解決手段】 シリコン基板1の上に形成した受光部2の前面に、赤外線の受光窓4を空隙3を有して配置し、受光窓4は受光部2を囲む範囲の接着面で、基板1に気密に接着することにより固定し、かつ空隙3の内部を真空にする。
請求項（抜粋）：
シリコン基板上に受光部を形成したボロメータ方式、サーモパイル方式、および焦電方式の赤外線検出器において、赤外線受光窓を、上記受光部の前面に空隙を有して配置し、上記受光窓は、上記受光部を完全に囲む接着面で、上記受光部を形成した基板に気密に接着することにより固定し、かつ上記空隙を真空とすることを特徴とする赤外線検出器。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01J 1/02 B
, G01J 1/02 C
, H01L 27/14 K
