特許

J-GLOBAL ID：200903076152524678

異物検査装置

発明者： 谷内 俊明 ,  野副 真理 ,  井古田 まさみ ,  秋山 伸幸 ,  近松 秀一
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-278919
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093695
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 空間フィルタを用いて散乱光の一部を遮光しても信号レベルをあまり低下させることなく、S/N 比のよい異物検査装置を提供することを目的とする。【構成】 例えば、フーリェ変換面に設けられたTVカメラにより、あらかじめサンプルとして取り出されたあるウエハの各チップにおけるフーリェ変換パターンが受像され、情報処理装置の処理により各フーリェ変換パターンの共通パターン(または論理和パターン)が抽出され、この抽出されたパターンに対応する遮光パターンが描かれた空間フィルタをフーリェ変換面に設けることにより光センサの受光信号においてウエハからの規則的パターンの回折光が除去され、ガラス板や写真フィルムのような赤外線透過率が高い透明板を用いているので、液晶シャッタなどの他の方法に比べて異物散乱光の減衰が小さくなる。その結果、パターン上に付着した異物の散乱光のS/N比が向上し、異物を良好に検出できる。

請求項（抜粋）：

規則的なパターンが形成されたウエハ,レチクル等の被検体表面に対し、レーザビームを照射し、その回折光を含む散乱光を集光レンズにより集光する光学系と、前記集光レンズにより形成されるフーリェ変換面に設けられ前記回折光により形成される前記パターン特有のフーリェ変換パターンに適合する遮光パターンを有する空間フィルタと、この空間フィルタを経た光を受光する光学センサとを備え、前記空間フィルタの材料として赤外線透過率が高い透明板が用いられることを特徴とする異物検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-185934
  
• 特開昭63-205775
  
• 特開平1-224692