特許

J-GLOBAL ID：200903076160979412

過酸化水素蒸気の濃度検出方法及びその装置

発明者： 安藤 紳一 ,  市田 泰三
出願人/特許権者： 大陽東洋酸素株式会社
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-124715
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313468
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 滅菌処理等を行う場合において、過酸化水素蒸気の濃度を直接的且つリアルタイムで正確に検出できるようにする。【構成】 処理容器2に過酸化水素蒸気4aを供給させて、処理容器2内の被処理物1を過酸化水素蒸気4aとの接触により滅菌処理させる場合において、処理容器2の内部及び外部に半導体ガスセンサー8及び濃度表示器11を配置しておき、半導体ガスセンサー8の出力を過酸化水素蒸気濃度に変換して濃度表示器11に表示させることによって、処理容器2内の過酸化水素蒸気4aの濃度を検出する。

請求項（抜粋）：

処理容器に過酸化水素蒸気を供給させて、処理容器内の被処理物を過酸化水素蒸気との接触により処理させる場合において、処理容器内の過酸化水素蒸気の濃度を検出する方法であって、処理容器の内部及び外部に半導体ガスセンサー及び濃度表示器を配置しておき、半導体ガスセンサーの出力を過酸化水素蒸気濃度に変換して濃度表示器に表示させるようにしたことを特徴とする過酸化水素蒸気の濃度検出方法。