スルーホール型マイクロストリップガスカウンタ素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 桜井周矩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286612
公開番号（公開出願番号）：特開2005-055306
出願日： 2003年08月05日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】汎用な電子回路基板加工技術をもって製作可能な、高い解像度のイメージング計測ができる低コストの多次元位置検出マイクロストリップガスカウンタ型放射線センサー素子を提供する。【解決手段】絶縁基板表面上に陰電極ストリップ、絶縁基板背面に陽電極ストリップを配置し、絶縁基板に大きなスルーホールを多数設けることによって、放射線により電離ガス中に発生した電子及びイオンが両電極間を自由に移動できる素子基板構造を採用する。二次元のそれぞれの信号出力に極性が逆転した同一のパルス波形でかつ大きな電気信号を与え、高い信号対雑音比を得る。【選択図】図17

請求項（抜粋）：

絶縁基板背面に少なくとも1本以上の幅50[μm]以下の陽電極ストリップを、また絶縁基板表面に少なくとも1本以上の陰電極ストリップを陽電極ストリップと直交する方向に配置し、陽電極ストリップの極近傍の強電界勾配の下でガス中の電子を増倍させ、それぞれの陽電極ストリップまたは陰電極ストリップから、あるいはその両方から放射線検出電気信号を出力させて放射線を検出する原理に基づいた一次元または二次元位置検出マイクロストリップガスカウンタ型放射線センサー素子において、電子及びイオンを自由に通過させる目的で陽電極ストリップ及び陰電極ストリップがプリントされていない絶縁基板面に少なくとも1個以上の径方向断面が円形、楕円形及び四角形等をしたスルーホール(貫通孔)を設けた構造を特徴とした多次元位置検出マイクロストリップガスカウンタ型放射線センサー素子。

IPC (3件)：

G01T1/18 , G01T1/00 , H01J47/06

FI (3件)：

G01T1/18 D , G01T1/00 B , H01J47/06

Fターム (11件)：

2G088FF02 , 2G088FF09 , 2G088GG03 , 2G088GG05 , 2G088GG30 , 2G088JJ05 , 2G088JJ09 , 2G088JJ31 , 2G088KK35 , 5C038DD01 , 5C038DD06

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