特許

J-GLOBAL ID：200903076170942606

静電型アクチュエ-タ及びその製造方法並びにインクジェットヘッド

発明者： 一色 海平
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010293
公開番号（公開出願番号）：特開2000-203023
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年07月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 安価で高密度化が可能な静電型アクチュエータおよびその製造技術の提供。【解決手段】 第1実施例)振動板基板1と電極基板2とを接着剤を用いないで直接接合し、かつギャップ形成用のシリコン酸化膜9を振動基板1側に設けた。第2実施例)振動板基板1に半導体基板の電極基板2の接合面側に高濃度の不純物が注入されたシリコンウエハを用いて、このシリコンウエハに熱酸化によってギャップとなる厚さのシリコン酸化膜を形勢した後、接合面側のシリコン酸化膜を所望の形状にパターニングして電極基板2と接合した。

請求項（抜粋）：

振動板を形成した振動板基板と、個別電極を形成した電極基板とを絶縁膜となるシリコン酸化膜によってギャップを形成して接合し、前記電極と振動板との間に電圧を印加することで前記振動板が変形する静電型アクチュエータにおいて、前記振動板基板と電極基板とを接着剤を用いないで直接接合し、且つ前記ギャップを形成するためのシリコン酸化膜を前記振動板基板側に設けたことを特徴とする静電型アクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (15件)：

2C057AF33 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG54 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP26 ,  2C057AP33 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15