特許
J-GLOBAL ID：200903076172690655
表面状態測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069885
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281450
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、試料を載置する際の位置合せの手間を軽減し、かつ、測定結果の客観性を著しく向上させることにある。【構成】 支持台に少なくとも水平方向に走査可能な圧電体を介して試料が支持され、かつ、探針に試料が対向配置され、圧電体により試料を所定の走査方向に沿って走査して探針により試料の表面状態を測定する表面状態測定装置において、支持台に水平方向に回動可能に設けられ、かつ、上部に圧電体の一端部が固定された固定台(32)と、固定台を探針に対してある角度だけ水平方向に回動させたとき、圧電体による走査方向を当該回動方向に対して逆向きに当該角度だけ回動させる測定条件固定手段(38,41)とを備えた表面状態測定装置である。
請求項（抜粋）：
支持台に少なくとも水平方向に走査可能な圧電体を介して試料が支持され、かつ、探針に前記試料が対向配置され、前記圧電体により当該試料を所定の走査方向に沿って走査して前記探針により当該試料の表面状態を測定する表面状態測定装置において、前記支持台に水平方向に回動可能に設けられ、かつ、上部に前記圧電体の一端部が固定された固定台と、この固定台を前記探針に対してある角度だけ水平方向に回動させたとき、前記圧電体による走査方向を前記回動方向に対して逆向きに前記角度だけ回動させる測定条件固定手段とを備えたことを特徴とする表面状態測定装置。
IPC (2件)：
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