特許
J-GLOBAL ID：200903076183273134
高周波用コイル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-195240
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041320
出願日： 1991年08月05日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】 薄膜トランス等のコイルにおいて、同一の断面積で電流方向の表面積を大きくし、高周波においても高いQ値を得る。【構成】 まず、蒸着またはスパッタ法により薄い銅膜1を作製し、その上にフォトレジストによるネガパターンを用い、めっきによる銅膜2を作製し、コイルを形成する。ここで、上記フォトレジストによるネガパターンを用いて、銅膜2の断面内部に柱状のフォトレジスト部3を設ける。これにより、ほぼ同一の断面積で電流方向の表面積を大きくし、高周波における抵抗の増加を抑えて高いQ値を得る。
請求項（抜粋）：
導線の電流方向の断面が長方形もしくは台形または概ねそれらの形状であって、その内部に一個もしくは複数の空隙部または絶縁部を持つことを特徴とする高周波用コイル。
IPC (3件)：
H01F 17/00
, H01F 5/00
, H01F 19/00
