特許
J-GLOBAL ID：200903076188552511
投影型露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-017524
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217853
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：
【要約】【目的】 レチクルのパターン面のフーリエ変換面において光軸から偏心した複数の2次光源像からの光束の強度を夫々等しくする。【構成】 レチクル16のパターン面17に対して所定の入射角ψで光束を照射するためにパターン面のフーリエ変換面11b,12cにおいて光軸AXから偏心した複数の2次光源像を形成するためのフライアイレンズ11A,11Bとフライアイレンズ11A、11Bの夫々に照明光を入射するための多面プリズム5a、5bを設け、プリズム5aを光軸AXとほぼ垂直な面内で移動することにより、フライアイレンズに入射する光束の強度を夫々可変とする。また、フライアイレンズ11A、11Bからの光束の強度を個別に計測する照度計21を設ける。
請求項（抜粋）：
光源からの照明光をほぼ均一な強度分布に成形するとともに、該均一な照明光を周期的なパターン部分を有するマスクに照射する照明光学系と、前記マスクのパターンの像を感光基板に結像投影する投影光学系とを備えた投影型露光装置において、前記照明光学系の光路中で、前記マスクのパターンのフーリエ変換相当面、若しくはその共役面の位置近傍に、2次光源像を形成するフライアイレンズと;前記フーリエ変換相当面、若しくはその共役面の位置近傍での光量分布が前記照明光学系、若しくは前記投影光学系の光軸に対して偏心した離散的な位置で少なくとも2つの極大値を持つように、前記光源からの照明光を分割する光束分割部材と;前記光源からの照明光の前記分割位置を可変とし、フライアイレンズに入射する各々の光束の強度を調整可能な光強度可変手段とを有することを特徴とする投影型露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 311 N
, H01L 21/30 311 L
