特許
J-GLOBAL ID：200903076189851571
ダイヤモンド被覆部材及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049525
公開番号（公開出願番号）：特開平6-263595
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【構成】 基材表面に気相合成法によりダイヤモンド結晶層が形成されたダイヤモンド被覆部材において、前記ダイヤモンド結晶層が少なくとも結晶成長初期には平板状ダイヤモンド結晶であり、これを成長合体させ、結晶配向性が均一で、表面粗さ0.2μmRmax以下である多結晶膜を形成する。【効果】 高硬度、高熱伝導性を有し、化学的安定性に優れ、切削工具や耐摩耗性工具、ヒートシンク等に有用であり、平滑性が良好であるので、光学部品にも有用であり、更に種々の不純物をドーピングして半導体としても利用できる。
請求項（抜粋）：
基材表面に、気相合成法によりダイヤモンド結晶層が形成されたダイヤモンド被覆部材において、前記ダイヤモンド結晶層が少なくとも結晶成長初期には、平板状ダイヤモンド結晶であり、更に、前記ダイヤモンド結晶層は、前記平板状ダイヤモンド結晶を成長合体させ、結晶配向性が均一で、かつ、表面粗さ(Rmax)が0.2μm以下である多結晶膜であることを特徴とするダイヤモンド被覆部材。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, H01L 21/205
, H01L 23/14
