特許

J-GLOBAL ID：200903076194367971

光学特性測定装置及び光学薄膜成膜装置

発明者： 本庄 禎治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 大澤 斌 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-031845
公開番号（公開出願番号）：特開2002-236075
出願日： 2001年02月08日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】【課題】 被測定光学薄膜の変質、変形を招くようなことなく、成膜中の微小面積の光学薄膜であっても、随時、光学特性を正確に測定できる装置を備えた光学薄膜成膜装置を提供する。【解決手段】 本光学薄膜成膜装置10は、平面基板上に光学薄膜を成膜する成膜源12と、成膜チャンバ14とを有する成膜装置本体16と、隔壁18を介して成膜チャンバに隣接して設けられた測定チャンバ20を備え、光学薄膜の光学特性を測定する装置22とを備える。光学特性測定装置は、被測定光学薄膜を載置させるステージ24、光源26、光照射手段及び光照射手段とが一体的に構成されている光学系28、分光光度計30、及び分光光度計によって計測された光量に基づいて光学薄膜の光学特性を算出する算出装置32を備える。成膜チャンバと測定チャンバとは、隔壁の連通口36を介して相互に連通している。ステージは、連通口を通って水平面内で、成膜チャンバと測定チャンバとの間を移動する。

請求項（抜粋）：

光学薄膜の光学特性を測定する装置であって、被測定光学薄膜を載置する測定ステージと、光源から出射された光を被測定光学薄膜にフォーカシングして照射する光照射手段と、被測定光学薄膜から反射された反射光を集光する集光手段とを一体的に構成してなる光学系と、光学系の集光手段によって集光された光量を計測する光量計測手段と、光量計測手段によって計測された光量に基づいて光学薄膜の光学特性を算出する算出手段とを備えていることを特徴とする光学特性測定装置。

IPC (4件)：

G01M 11/00 ,  C23C 14/54 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/45

FI (4件)：

G01M 11/00 T ,  C23C 14/54 E ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/45 A

Fターム (39件)：

2F065AA30 ,  2F065BB17 ,  2F065CC02 ,  2F065DD00 ,  2F065FF44 ,  2F065GG02 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065PP22 ,  2F065UU07 ,  2G059AA02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059GG10 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G086EE06 ,  2G086EE12 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DA03