カーボンナノチューブの成長方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-084173
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277033
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】高品質なカーボンナノチューブを所望の位置に成長する。【解決手段】 2種以上の異なる触媒金属層が積層された多層触媒金属パターンを、CVD法に供する前に加熱処理する。

請求項（抜粋）：

基板上に、2種以上の異なる触媒金属層が積層された多層触媒金属パターンを形成する工程、及び該多層触媒金属パターンを加熱処理する工程、及び加熱処理された該多層触媒金属パターン上に、CVD法によりカーボンナノチューブを成長させる工程を具備することを特徴とするカーボンナノチューブの成長方法。

IPC (4件)：

C01B 31/02 101 , B01J 23/89 , B82B 3/00 , C23C 16/26

FI (4件)：

C01B 31/02 101 F , B01J 23/89 M , B82B 3/00 , C23C 16/26

Fターム (34件)：

4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069BB02A , 4G069BB02B , 4G069BC67A , 4G069BC67B , 4G069BC75A , 4G069BC75B , 4G069CB81 , 4G069EA11 , 4G069EC28 , 4G069EC29 , 4G069EE06 , 4G069FA01 , 4G069FB29 , 4G069FC07 , 4G146AA11 , 4G146AB08 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC33A , 4G146BC33B , 4G146BC43 , 4G146BC48 , 4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030BA27 , 4K030BB01 , 4K030BB14 , 4K030CA04 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030FA10

引用特許：

審査官引用 (1件)

無線ATMアクセスシステムのセルフロー同期確立方式
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-282592 出願人：日本電気株式会社

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