特許

J-GLOBAL ID：200903076205326199

マイクロレンズの製造方法

発明者： 加藤 正良
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-182816
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027104
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 光学特性の制御性が良く、しかも、生産性に富んだマイクロレンズの製造方法を提供する。【構成】 透明基板5上に感光性樹脂11からなる膜を形成し、この膜の上部にマスクを配置させ選択的な光照射を行うことにより感光性樹脂11の一部を多量化させた後、全面に渡って光照射を行い感光性樹脂11を硬化安定化させることによりマイクロレンズ8を作製するマイクロレンズの製造方法において、少なくとも一方の透明基板5の表面上に開口部6aを有する遮光膜6を形成し、この遮光膜6の開口部6aを介して透明基板5の面上のエッチングを行うことにより開口部6aと精度良く配置された所望の凹面形状の孔7を形成した。

請求項（抜粋）：

透明基板上に感光性樹脂からなる膜を形成し、この膜の上部にマスクを配置させ選択的な光照射を行うことにより前記感光性樹脂の一部を多量化させた後、全面に渡って光照射を行い前記感光性樹脂を硬化安定化させることによりマイクロレンズを作製するマイクロレンズの製造方法において、前記少なくとも一方の透明基板の表面上に開口部を有する遮光膜を形成し、この遮光膜の前記開口部を介して前記透明基板の面上のエッチングを行うことにより前記開口部と精度良く配置された所望の凹面形状の孔を形成したことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 3/00 ,  B29C 39/02 ,  B29L 11:00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-122614
  
• 特開昭63-146001
  
• 特開昭64-065509