特許
J-GLOBAL ID:200903076209921016
光半導体モジュール及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-202441
公開番号(公開出願番号):特開2005-043622
出願日: 2003年07月28日
公開日(公表日): 2005年02月17日
要約:
【課題】光半導体素子と光伝送路の光入出力端面との間の距離を短くでき、かつ軸方向の位置決めを簡略化でき、低コストで製造可能にする。【解決手段】光半導体素子と光伝送路とを光結合してなる光半導体モジュールであって、光伝送路30を保持穴21内に機械的に保持し、光伝送路30の光入出力端面33を主面上に露出させた光伝送路保持部材20と、この保持部材20の主面上に形成された電気配線50と、保持部材20の主面上に搭載され、活性領域11が光伝送路30の光入出力端面33と光結合され、かつバンプ12が電気配線50に接続された光半導体素子10と、光半導体素子10と保持部材20との間に挿入され、電気的接続及び光結合部に開口を有し、かつ光伝送路30の光入出力端面33の導波部32以外の一部が押し当てられる電気的絶縁フィルム40とを備えた。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
光伝送路を機械的に保持し、該光伝送路の一端側を主面上に露出させた光伝送路保持部材と、
この保持部材の主面上に形成された電気配線と、
前記保持部材の主面上に搭載され、発光又は受光に供される活性領域が前記光伝送路の一端側と光結合され、かつ電極部が前記電気配線に電気的に接続された光半導体素子と、
前記光半導体素子と前記保持部材との間に挿入され、少なくとも前記電極部と電気配線との電気的接続及び前記光半導体素子の活性領域と光伝送路との光結合部に開口を有し、かつ前記光伝送路の一端側の導波部以外の一部が押し当てられる電気的絶縁フィルムと、
を具備してなることを特徴とする光半導体モジュール。
IPC (3件):
G02B6/42
, H01L31/0232
, H01L33/00
FI (3件):
G02B6/42
, H01L33/00 N
, H01L31/02 C
Fターム (32件):
2H037AA01
, 2H037BA02
, 2H037BA11
, 2H037BA31
, 2H037DA03
, 2H037DA04
, 2H037DA11
, 5F041AA14
, 5F041AA37
, 5F041AA39
, 5F041AA42
, 5F041CA12
, 5F041CB22
, 5F041DA03
, 5F041DA09
, 5F041DA12
, 5F041DA20
, 5F041DA43
, 5F041DA81
, 5F041DB09
, 5F041EE03
, 5F041EE06
, 5F041FF14
, 5F088BA03
, 5F088BA16
, 5F088BA18
, 5F088BB01
, 5F088EA03
, 5F088JA03
, 5F088JA09
, 5F088JA14
, 5F088JA20
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