特許
J-GLOBAL ID：200903076210697839
X線検査装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099332
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296204
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 垂直撮影と斜め撮影とを併用する場合において、検査時間の増加を低減可能なX線検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 回路形成体に対する直交方向に沿って接合部に対してX線を照射する一台の直交方向用X線発生器を備えるとともに、予め固定された傾斜方向に沿って接合部へX線を照射する傾斜方向用X線発生器を備えたことから、X線発生器を傾斜させるに要する時間を省略でき、直交方向用X線発生器と傾斜方向用X線発生器と間でのX線照射の切り替えを、従来に比べて短時間で行なうことができる。よって、回路形成体における接合部の検査を短時間で行うことができる。
請求項（抜粋）：
回路形成体(250)に装着された部品(261)と上記回路形成体との接合部(270)にX線を照射して検出された透過X線にて得られるX線透視画像に基づいて上記接合部を検査するX線検査装置であって、上記回路形成体に対する直交方向(251)に沿って上記接合部に対してX線を照射する一台の直交方向用X線発生器(511)及び、上記直交方向に交差する傾斜角度(θ)が固定された傾斜方向(252)に沿って上記接合部に対してX線を照射する傾斜方向用X線発生器(512)を備えたX線照射装置(510)と、上記X線照射装置に対して上記回路形成体を間に挟み、上記直交方向に平行な上記直交方向用X線発生器の中心軸(513)上に固定して配置され、上記接合部を透過した透過X線を検出するX線検出器(120)と、上記回路形成体を保持しかつ上記直交方向に直交する移動方向(533)に移動可能であり、上記傾斜方向用X線発生器にて撮影を行なうとき、上記直交方向用X線発生器からX線照射された検査接合部に上記傾斜方向用X線発生器のX線が照射される傾斜照射位置(532)へ上記回路形成体を位置決めする位置決め装置(530)と、を備えたことを特徴とするX線検査装置。
IPC (2件)：
G01N 23/04
, H05K 3/34 512
G01N 23/04
, H05K 3/34 512 B
2G001AA01
, 2G001AA10
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA01
, 2G001DA09
, 2G001GA13
, 2G001HA12
, 2G001HA13
, 2G001JA01
, 2G001JA09
, 2G001JA11
, 2G001KA03
, 2G001LA11
, 2G001MA05
, 2G001PA01
, 2G001PA02
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 5E319AA03
, 5E319AA07
, 5E319AB05
, 5E319CD51
, 5E319GG15
